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本发明涉及用于预熔向主坩埚供给的硅的预熔装置及其控制方法，该装置可以精密测量向硅锭生长坩埚投入的熔融硅的投入量，从而可以有效进行投入量的控制，根据本发明的一实施方式，公开一种用于预熔向主坩埚供给的硅的预熔装置，其包括：预备坩埚，用于在接收固...
该专利属于韩华思路信所有，仅供学习研究参考，未经过韩华思路信授权不得商用。

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