下载具有复合接合焊垫的半导体元件的技术资料

文档序号:32804955

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供一种具有复合接合焊垫的半导体元件。该半导体元件包括设置在一半导体基底上的一第一介电层,设置在该第一介电层中的一下金属插塞以及一阻挡层,设置在该下金属插塞上的一内硅化物部分,以及设置在该阻挡层上的一外硅化物部分。该下金属插塞被该阻挡...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。