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存储器的制造方法和存储器技术
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文档序号:32804519
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本发明实施例提供一种存储器的制造方法和存储器,存储器的制造方法包括:提供基底以及位线接触层;在位线接触层的顶部形成伪位线结构;在伪位线结构的侧壁及位线接触层的侧壁形成间隔层;在间隔层的侧壁形成介质层;形成填充相邻伪位线结构之间的区域的牺牲层...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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