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本发明提供了一种半导体设备的载入装置以及半导体设备，该半导体设备的载入装置包括：载台，用于承载配置有第一活动开口的电子元件存储盒；与电子元件存储盒相吸附的片库接口板，片库接口板配置有与第一活动开口相对的第二活动开口；以及，布置于半导体设备正...
该专利属于上海果纳半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海果纳半导体技术有限公司授权不得商用。

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