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本实用新型公开了一种晶圆承载装置，包括：至少两组嵌套设置的承载晶圆梳组，承载晶圆梳组包括相对设置的两承载晶圆梳，以分别夹持垂直状态的晶圆相对两侧边缘，并配合承载晶圆，且至少一组承载晶圆梳组能够相对其他承载晶圆梳组升降。本实用新型通过至少两组...
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