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本申请公开一种立式热处理设备，包括工艺炉和炉门，该炉门用于密封该工艺炉的炉口；该炉门包括隔热盘和冷却盘，其中：该隔热盘为石英结构件，该隔热盘具有相背设置的密封面和第一安装面，该炉门通过该密封面密封该炉口；该冷却盘具有第二安装面；在该第一安装...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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