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本申请实施例公开了一种薄膜的检测方法，包括：向待测薄膜的第一表面提供激光脉冲激发信号，以在待测薄膜中激发超声波；其中，待测薄膜包括相对的第一表面和第二表面；获取超声波在待测薄膜中传播的信号谱；根据信号谱，确定超声波的至少两个回波的回波参数；...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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