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一种射频(RF)功率产生器，其适用于耦合至多站式集成电路制造室，该射频功率产生器可以包含：振荡器，其提供周期性信号；以及一个以上的前置放大器，其各自具有用于从该振荡器接收信号的输入端口以及具有用于提供放大信号的输出端口。该RF产生器可额外包...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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