下载真空手指和晶圆传送系统的技术资料

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本实用新型涉及半导体领域,具体而言,涉及一种真空手指和晶圆传送系统。真空手指包括第一支撑件、第二支撑件和标记件,第一支撑件和第二支撑件相对设置,且分别与标记件的相对的两端连接,第一支撑件相对远离标记件的一端设置有第一环形磨面凸起,第二支撑件...
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