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气浮主轴传动系统结构技术方案
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文档序号:32664622
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本实用新型公开了气浮主轴传动系统结构,包括外壳,所述外壳内部安装有主轴本体,所述外壳内壁左右两侧通过密封环固定连接有轴套,所述轴套表面均匀设有若干气孔,所述外壳内壁右侧设有第一密封板和第二密封板,所述第二密封板表面设有若干组排气孔,所述挡板...
该专利属于苏州翠竹半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州翠竹半导体有限公司授权不得商用。
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