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磨削磨轮以及晶片的磨削方法技术
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文档序号:32653588
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本发明提供磨削磨轮以及晶片的磨削方法。磨削磨轮包含:环状基台,其具有自由端部;以及多个分段磨具,它们在圆周方向上相互分离地固定在该环状基台的该自由端部上,该多个分段磨具被分割成由规定数量的分段磨具构成的多个磨具组,形成各个该磨具组的各个该分...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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