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本发明提供了一种半导体器件晶圆动态参数测试分选系统及方法，获取测试模式、测试参数和分选条件，根据上述信息，生成相应的控制指令；控制定位扎针单元运动，移动至待测芯片上方并扎针；根据控制指令，进行双脉冲测试或/和栅电荷测试；获取参数测试单元的测...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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