下载压附装置的第三承载台的技术资料

文档序号:32650771

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本实用新型公开一种压附装置的第三承载台,用于承载预贴有背面滴蜡的晶片的承载工件,其包括:上盘、下盘、第三加热机构和冷却机构,所述上盘和所述下盘上下对应设置,所述上盘的正面用于承托所述承载工件,所述上盘的背面用于与所述下盘的正面相抵接,所述第...
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