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本申请公开了一种晶圆清洗装置和晶圆修剪设备，晶圆清洗装置包括承载台和边部清洗单元，承载台用以支撑晶圆，边部清洗单元配置为对晶圆的边缘进行清洗。晶圆修剪设备包括修剪装置和清洗装置，修剪装置配置为对晶圆的边缘进行修剪，清洗装置配置为对修剪后的晶...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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