下载晶圆级扇出的多芯片封装结构及其制备方法的技术资料

文档序号:32649089

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本发明公开了一种晶圆级扇出的多芯片封装结构,包括:转接结构,以及分别位于所述转接结构下侧和上侧的封装有芯片的第一包封层和第二包封层;所述第二包封层上设有外大内小的多个开口,以及覆盖所述开口且与所述转接结构中的导电金属层电连接的UBM层;在所...
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