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本发明公开一种清洗腔室,包括腔室本体(100)、排风箱体(200)、调节机构(300)和排液装置;所述排风箱体(200)位于所述腔室本体(100)之外,且所述排风箱体(200)与所述腔室本体(100)相连通,所述排风箱体(200)开设有与外...该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。
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