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本发明解决的问题是提供一种减少了加工变质层的SiC衬底的制造方法及其制造装置。此外，本发明解决的问题是提供一种去除了加工变质层的SiC衬底的制造方法及其制造装置。本发明的特征在于包括：主体容器(20)，能够收纳SiC衬底(10)，并且通过加...
该专利属于丰田通商株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过丰田通商株式会社授权不得商用。

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