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本实用新型提供了一种可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统，包括支撑钢架和臭氧电柜，支撑钢架的上方固定安装有臭氧电柜，臭氧电柜内壁的的上方固定安装有蜂鸣器，臭氧电柜内部的左侧固定安装有臭氧发生器，臭氧发生器右侧的排气端固定安装有排气管，排气...
该专利属于赛维LDK太阳能高科技（新余）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛维LDK太阳能高科技（新余）有限公司授权不得商用。

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