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本实用新型提出了一种半导体清洗单元和半导体清洗设备，其中，半导体清洗单元包括：框架；封板，围设于框架上；隔槽，位于框架内，与封板或/和框架固定连接；清洗槽，至少部分清洗槽位于隔槽内。本实用新型提出的半导体清洗单元，包括框架、封板、隔槽和清洗...
该专利属于创微微电子（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创微微电子（常州）有限公司授权不得商用。

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