下载圆轴测量装置、辊轴及应用该辊轴的纳米压印设备的技术资料

文档序号:32570266

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本申请提供一种圆轴测量装置包括:电感测微仪和双频激光干涉仪;所述电感测微仪中交流电桥的第一桥臂上并入可调电感,通过调整所述可调电感和所述交流电桥的衔铁,补偿工作线圈的残余电压,根据经过残余电压补偿的所述工作线圈产生的电信号计算所述圆轴的圆度...
该专利属于天津市英贝特航天科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津市英贝特航天科技有限公司授权不得商用。

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