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文档序号:32554038

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本发明公开了一种多芯片三维集成扇出型封装结构及其制作方法,该封装结构包括载板和基板;载板上埋设有第一芯片,第一芯片和载板上覆盖有第一钝化膜层,第一钝化膜层上设有与第一芯片电连接的第一金属再布线层;第一金属再布线层上设有复合塑封结构;复合塑封...
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