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本发明提供了一种晶圆支撑柱，设置于半导体基座内用于承托晶圆，其包括支撑柱本体，所述支撑柱本体的外表面设有至少一个凹陷部，所述凹陷部相对于所述支撑柱本体的外表面向内凹陷，所述凹陷部设置于所述支撑柱本体的侧壁，且所述凹陷部的顶部与支撑柱本体的顶...
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