温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及排气管装置。根据一个实施例的排气管装置包括：电介质管；射频电极；接地电极；以及等离子体产生回路。射频电极设置在电介质管的外周侧，射频电压被施加到该射频电极。接地电极在电介质管的端部侧设置成使得其与射频电极的距离在电介质管的内部侧比...
该专利属于铠侠股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过铠侠股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。