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数据校正装置、测量系统和校正方法制造方法及图纸
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文档序号:32508717
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一种数据校正装置400,包括:获取部件410,其从测量装置100获取测量数据,测量装置100能够在移动至少一个(i)待测对象10或(ii)测量装置100的至少一部分中的至少一个的同时周期性地测量距离,测量数据中,距离的第一测量结果以时间序列...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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