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方法和装置提供设置在基底上的第一鳍片结构、第二鳍片结构和第三鳍片结构。介电鳍片是形成在第一鳍片结构与第二鳍片结构之间，且导线是形成在第二鳍片结构与第三鳍片结构之间。间。间。
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该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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