下载用于光学感测的器件及其制造方法的技术资料

文档序号:32506800

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本发明的实施例公开了用于光学感测的器件及其制造方法。在一个实施例中,用于光学感测的器件包括衬底、光电探测器和反射器。光电探测器设置在衬底中。反射器设置在衬底中并且与光电探测器间隔开,其中,反射器具有相对于光电探测器倾斜的反射表面,该反射表面...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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