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本发明涉及半导体装置的不良解析系统、半导体装置的不良解析方法及程序。提供半导体装置的不良解析系统，针对块单位及列单位的良/不良信息，够进行跨及多个检查步序的统合解析，解析效率提高。半导体装置的不良解析系统具备存储器(13)、不良信息管理表(...
该专利属于铠侠股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过铠侠股份有限公司授权不得商用。

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