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本发明提供了一种半导体器件的缺陷检测方法、装置及电子设备，应用于半导体领域。由于本发明实施例中提供的缺陷检测方法将两个光源之间的距离设置为预设固定距离，之后再按所述预设固定距离为移动步长移动所述载物台，从而实现无论所述载物台的移动误差多大，...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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