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本实用新型涉及一种用于大长径比金属管材内壁镀膜的磁控溅射装置，所述装置以大长径比金属管材(4)为磁控溅射腔体，包括：一个或多个空心圆柱状靶(12)；用于支撑空心圆柱状靶的多根可伸缩支杆；控制空心圆柱状靶沿大长径比金属管材轴心方向移动的传动装...
该专利属于武汉理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉理工大学授权不得商用。

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