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本申请涉及一种体声波谐振器，包括：衬底，其中所述衬底包括空腔，所述空腔开口于所述衬底上表面，所述空腔底部被所述衬底封闭；至少位于所述衬底和所述空腔上方的压电薄膜；以及位于所述压电薄膜上表面的两组相互交错的叉指电极；其中，在位于所述叉指电极最...
该专利属于苏州敏芯微电子技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州敏芯微电子技术股份有限公司授权不得商用。

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