下载一种便于固定可调节的硅片承载座的技术资料

文档序号:32470228

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本实用新型公开了一种便于固定可调节的硅片承载座,包括硅片底座,所述硅片底座的顶部内腔开设有硅片卡槽,所述硅片卡槽的一侧开设有排水槽,所述排水槽的开设深度大于硅片卡槽的开设深度,所述硅片底座的底部设置有安装块,所述安装块的内腔开设有安装孔,所...
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