下载温度控制装置、温度控制方法和检查装置的技术资料

文档序号:32453927

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本发明的温度控制装置进行温度控制对象物的温度控制,并包括:加热机构,其具有对温度控制对象物进行加热的加热源;温度测量器,其测量温度控制对象物的附近温度;温度推算部,其利用对加热源供给的功率、对温度控制对象物供给的功率和附近温度,动态地推算温...
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