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温度控制装置、温度控制方法和检查装置制造方法及图纸
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下载温度控制装置、温度控制方法和检查装置的技术资料
文档序号:32453927
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本发明的温度控制装置进行温度控制对象物的温度控制,并包括:加热机构,其具有对温度控制对象物进行加热的加热源;温度测量器,其测量温度控制对象物的附近温度;温度推算部,其利用对加热源供给的功率、对温度控制对象物供给的功率和附近温度,动态地推算温...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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