温度控制装置、温度控制方法和检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术的温度控制装置进行温度控制对象物的温度控制，并包括：加热机构，其具有对温度控制对象物进行加热的加热源；温度测量器，其测量温度控制对象物的附近温度；温度推算部，其利用对加热源供给的功率、对温度控制对象物供给的功率和附近温度，动态地推算温度控制对象物的温度；以及温度控制器，其基于温度控制对象物的推算温度，控制对加热源供给的功率来控制温度控制对象物的温度。控制温度控制对象物的温度。控制温度控制对象物的温度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】温度控制装置、温度控制方法和检查装置


[0001]本专利技术涉及温度控制装置、温度控制方法和检查装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造工艺中，在半导体晶片(以下简称为晶片)上形成具有规定的电路图案的大量电子器件。对所形成的电子器件进行电气特性等的检查，甄别为为合格品和不合格品。
[0003]在专利文献1中，记载了一种在各电子器件被分割之前的晶片的状态下检查电子器件的电特性的检查装置。该检查装置包括具有多个针状的探针的探针卡、载置的晶片载置台和测试器。在该检查装置中，使探针卡的各探针接触到与形成于晶片的电子器件的电极对应地设置的电极焊盘、焊料凸块，使来自电子器件的信号向测试器传递而检查电子器件的电特性。另外，专利文献1的检查装置具有在检查器件的电特性时，为了再现该电子器件的安装环境，利用载置台内的致冷剂流路、加热器来控制载置台的温度的温度控制装置。
[0004]另一方面，在专利文献2中记载了如下技术：在单个电子器件进行检查时，根据规定的热传递常数和电功率消耗量静态地推算作为检查对象的电子器件的温度，基于此进行电子器件的温度控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种温度控制装置，其特征在于：所述温度控制装置进行温度控制对象物的温度控制，并包括：加热机构，其具有对所述温度控制对象物进行加热的加热源；温度测量器，其测量所述温度控制对象物的附近温度；温度推算部，其利用对所述加热源供给的功率、对所述温度控制对象物供给的功率和所述附近温度，动态地推算所述温度控制对象物的温度；以及温度控制器，其基于所述温度控制对象物的推算温度，控制对所述加热源供给的功率来控制所述温度控制对象物的温度。2.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度推算部利用动态控制系统来推算所述温度控制对象物的温度，其中，所述动态控制系统将对所述加热源供给的功率和对所述温度控制对象物供给的功率作为操作量，并将所述附近温度作为输出值。3.如权利要求2所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度推算部利用由所述动态控制系统和观测器构成的观测控制系统来推算所述温度控制对象物的温度。4.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度推算部的所述温度测量器测量保持所述温度控制对象物的保持部的温度、或对所述温度控制对象物供给功率的供给部件的温度，作为所述附近温度。5.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度控制装置还包括冷却机构，所述冷却机构具有对所述温度控制对象物进行冷却的冷却源，所述温度控制器包括：滑模控制器，其将对所述加热源供给的功率作为操作量；冷却模式控制器，其将对所述冷却源供给的功率作为操作量；以及切换控制器，其根据作为所述滑模控制器的输出的线性项和非线性项中的所述非线性项的值，决定是将所述滑模控制器的输出直接作为第一操作量输出到所述加热源，还是不使用所述滑模控制器的输出而将所述冷却模式控制器的输出用作第二操作量。6.如权利要求5所述的温度控制装置，其特征在于：所述冷却机构利用致冷剂对所述温度控制对象物进行冷却，所述冷却源是对致冷剂的流路进行开闭的高速阀，所述冷却模式控制器的输出是对所述高速阀的开闭信号。7.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度控制装置还包括冷却机构，所述冷却机构具有对所述温度控制对象物进行冷却的冷却源，所述温度控制器包括：滑模控制器，其将对所述加热源供给的功率作为操作量；冷却模式控制器，其将对所述冷却源供给的功率作为操作量；以及切换控制器，其根据作为所述滑模控制器的输出的线性项和非线性项中的所述非线性项的值，决定是将所述滑模控制器的输出直接作为第一操作量输出到所述加热源，还是将所述滑模控制器的输出和所述冷却模式控制器的输出相加而得的值用作第二操作量。
8.如权利要求7所述的温度控制装置，其特征在于：所述冷却机构利用致冷剂对所述温度控制对象物进行冷却，所述冷却源是对致冷剂的流路进行开闭的高速阀，所述冷却模式控制器的输出是对所述高速阀的开闭信号。9.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述加热源是LED，所述第一操作量是对LED供给的电流值。10.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度控制对象物是形成于基片的电子器件。11.一种温度控制方法，其特征在于：所述温度控制方法进行温度控制对象物的温度控制，并包括：利用对加热所述温度控制对象物的加热源供给的功率、对所述温度控制对象物供给的功率和所述温度控制对象物的附近温度，来动态地推算所述温度控制对象物的温度的步骤；以及基于所述温度控制对象物的推算温度，控制对所述加热源供给的功率来控制所述温度控制对象物的温度。12.如权利要求11所述的温度控制方法，其特征在于：在所述动态地推算温度控制对象物的温度的步骤中，利用动态控制系统来推算所述温度控制对象物的温度，其中，所述动态控制系统将对所述加热源供给的功率和对所述温度控制对象物供给的功率作为操作量，并将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：河西繁，小林将人，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：