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公开了一种检验系统。在一个实施例中，所述检验系统包含经配置以获取样本的干涉图的干涉仪子系统。所述检验系统可进一步包含经通信地耦合到所述干涉仪子系统的控制器。所述控制器经配置以：从所述干涉仪子系统接收所述干涉图；基于所接收的干涉图来产生所述样...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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