下载一种真空密封旋转升降系统及半导体设备的技术资料

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本发明的实施例提供了一种真空密封旋转升降系统及半导体设备,涉及半导体领域。真空密封旋转升降系统包括磁流体密封组件、运动轴、伸缩组件及第一密封圈。磁流体密封组件与真空箱固定连接,运动轴的一端用于伸入真空箱内,另一端可活动地与磁流体密封组件连接...
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