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本发明提供一种等离子体控制系统，可使用长条状的天线来应对基板的大型化，并沿着天线的长边方向产生均匀的等离子体。本发明包括：高频电源4；天线组3x，具有连接于高频电源4的多个天线3；多个电抗可变元件VC，连接于多个天线3的供电侧以及接地侧；电...
该专利属于日新电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日新电机株式会社授权不得商用。

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