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一种用于铌酸锂薄膜电光调制器偏置电压控制的监测装置，包括铌酸锂薄膜调制器芯片、起偏片、输入光纤、输出光纤、光纤固定块、光电探测器和偏置控制电路；所述铌酸锂薄膜调制器芯片上制作有波导结构、射频电极结构和偏置电极结构；所述波导结构包括第一主波导...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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