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本申请实施例提供的一种抛光垫的装配装置，包括底座以及对准件，底座具有用于固定抛光盘的固定区域，对准件位于固定区域的边缘，对准件具有固定连接在一起的连接部和对准部，连接部固定在底座上，对准部为抛光垫与抛光盘对准的参照物，通过对准件确定抛光垫的...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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