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一旦进入金属沉积用来倾斜基片的方法和相关设备技术
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文档序号:3239147
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说明了一种电镀系统。该电镀系统实现一种把基片上形成的种层浸入到电解液中的方法。在一个方面,通过进入电解液时倾斜基片把基片浸入该电镀系统中从而限制电解液中在基片和基片支持器之间捕获或形成气泡。在另一个方面,提供一种用于电镀的设备,其包括一个槽...
该专利属于应用材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料有限公司授权不得商用。
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