下载N型碳纳米管场效应晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:3238447

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本发明提供了一种具有n型碳纳米管的场效应管(CNT  FET)以及制备该n型CNT  FET的方法。该n型CNT  FET包括:衬底;形成衬底上并彼此分隔开的电极;形成于衬底上并电连接到电极的碳纳米管;形成于碳纳米管上的栅极氧化层;以及形成...
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