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下载半导体器件的技术资料

文档序号:3238001

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提供一种能够减小反馈电容的半导体器件。作为功率MOSFET的半导体器件(1),在单元(9)侧形成漏电极(45),在硅衬底(3)的背面形成源电极(7)。使源区(13)和基区(25)短路的短路电极(35)的一部分,隔着第一层间绝缘膜(31)位于...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。

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