下载高电压晶体管及其制造方法的技术资料

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在具有高击穿电压的HV晶体管及其制造方法中,通过氧化一部分衬底使第一绝缘图案形成在半导体衬底上,并且形成第二绝缘图案,使得第一绝缘图案的至少一部分覆盖有第二绝缘图案。通过淀积导电材料到衬底上,在衬底上形成栅电极,栅电极含有第一末端部分和与第...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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