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基板处理装置的处理室净化方法、基板处理装置和基板处理方法制造方法及图纸
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下载基板处理装置的处理室净化方法、基板处理装置和基板处理方法的技术资料
文档序号:3237436
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每次净化在处理室内容纳被处理基板,对所述被处理基板实施规定的处理的基板处理装置的处理室时,交替实施在处理室内形成包含氧元素的气体的等离子体的工序和在处理室内形成包含氮元素的气体的等离子体的工序。...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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