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文档序号:3237138

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一种半导体器件,具有:半导体衬底;第一绝缘膜,设置在所述半导体衬底之上;第二绝缘膜,设置在所述第一绝缘膜之上;布线,设置在所述第一绝缘膜中并具有插塞连接部分;插塞,设置在所述第二绝缘膜中并连接到所述插塞连接部分;多个第一虚布线,设置在所述第...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。

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