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本申请公开了一种磁场调节器、磁控溅射装置的靶组件和磁控溅射装置，所述磁场调节器包括第一磁体结构、第一腔体、第二磁体结构和第二腔体，第一磁体结构包括至少两个定磁铁以及磁体旋转结构，相邻的两个所述定磁铁的顶部的极性相反，所述磁体旋转结构带动全部...
该专利属于北海惠科半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北海惠科半导体科技有限公司授权不得商用。

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