下载样品表面膜层厚度的测量方法的技术资料

文档序号:32363600

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种样品表面膜层厚度的测量方法,包括:提供第一样品基底,第一样品基底不包含目标物质;在第一样品基底的表面上形成目标物质的第一膜层;检测第一膜层,获得目标物质在第一膜层中的含量,含量对应于第一表面定量分析方法的第一检测极限;检测第一...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。