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一种晶圆片的定位装置及定位方法，定位装置包括定位台和驱动装置，定位台的下部设有吸附装置，在定位台的一侧设有光源，在定位台的另一侧设有光电传感器，光电传感器与控制器电连接，定位台的旁边设有可水平直线移动的机械手，定位台的中心位于机械手移动的轨...
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