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本发明提供一种超精密位置探测光电信号数据拟合方法及其装置，方法包括如下步骤：根据采样点数构建傅里叶矩阵；根据光信号的衍射级次筛选所述傅里叶矩阵对应的行向量，构建M行N列傅里叶子矩阵T；将所述傅里叶子矩阵T左乘光电信号采样点列向量B，进而得到...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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