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用于单切晶片的支撑装置制造方法及图纸
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下载用于单切晶片的支撑装置的技术资料
文档序号:3235578
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一种在切割晶片10时和切割晶片10后支撑晶片芯片11的支撑基部或卡盘20。所述支撑基部包括岛21的阵列,该岛的上表面在支撑基部的主表面上凸出,用于与在晶片上的或者从晶片上单切的芯片的阵列对齐。所述岛之间的间隔不小于用于切割晶片的激光的切口,...
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