下载用于单切晶片的支撑装置的技术资料

文档序号:3235578

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种在切割晶片10时和切割晶片10后支撑晶片芯片11的支撑基部或卡盘20。所述支撑基部包括岛21的阵列,该岛的上表面在支撑基部的主表面上凸出,用于与在晶片上的或者从晶片上单切的芯片的阵列对齐。所述岛之间的间隔不小于用于切割晶片的激光的切口,...
该专利属于XSIL技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过XSIL技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。