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半导体器件制造技术
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文档序号:32354123
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一种半导体器件,包括:衬底,具有设置有沟道图案的有源区;器件隔离层,包括限定有源区的第一部、以及包围沟道图案的第一部分的第二部;上外延图案,设置在沟道图案的顶表面上;栅电极,包围沟道图案的第二部分并且在第一方向上延伸;栅间隔物,在栅电极上;...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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